CMP研磨墊調節器
高精度平坦加工時所使用的研磨墊調節器
特點
‧電著均一配列型式
台金形狀的優化、採用嚴選過的磨粒進而實現了壽命長、刮痕少、以及品質的安定。
‧電著塗層型式
採用特殊塗層材料，在金屬配線過程的酸性環境下也可使用。
‧硬焊型式
焊材和磨粒的化學反應實現了強韌的磨粒保持力。磨粒的高度整齊，品質安定。
‧陶瓷型式
使用陶瓷台金以及玻璃結合材實現了無金屬汙染。
用途
‧半導體、液晶、玻璃用研磨墊調節器
