超精密加工用平面磨削砂輪“Nano-Finisher SV”
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超精密加工用平面磨削砂輪“Nano-Finisher SV”
採用不同與以往的製造方法，將細微的磨粒均一分散、均一結合的陶瓷金剛石砂輪。
安裝並使用了超精密加工用磨床，可在奈米層面上進行固定磨粒加工。
不僅實現了磨削工序的高精度化，還可替代眾多工序中用於進行研磨、預拋光的游離磨粒加工，從而達到大幅削減加工量的效果。
特點
‧適於加工亞微米尺寸的磨粒，實現高品質加工。
‧磨削阻力小，可實現無修整穩定加工。
‧低損耗加工，可降低晶圓厚度，減少後期工序。
‧與以往的砂輪相比工具使用壽命大幅延長。
用途
‧矽晶圓、玻璃基板等硬脆材料基板的加工
‧超精密金屬模具加工
磨削性能
矽晶圓的精密加工示例：
良好的加工面粗度
實現低損耗加工
